No.81 Gia nhiệt khí tiền chất trong quá trình sản xuất chất bán dẫn

《　Vấn đề　》

Chúng tôi đang xem xét việc đun nóng khí tiền chất để phản ứng hóa học diễn ra hiệu quả trên bề mặt chất nền.

《　⇒Điểm Kaizen 》

Hệ thống sưởi được thực hiện bằng cách lắp đặt các máy sưởi tuyến halogen đối diện nhau. Vì nó có thể dễ dàng lắp đặt trên đường ống nên giảm vốn đầu tư.