No.41 Quá trình xử lý nhiệt wafer bán dẫn

《　Vấn đề　》

Không có gì tốt có thể làm nóng một tấm wafer silicon trong chân không.

《　⇒Điểm Kaizen 》

Làm nóng bằng lò sưởi dòng halogen.
Thời gian chu kỳ có thể được duy trì vì nhiệt độ tăng đến nhiệt độ tối đa trong 5 giây.
Cho đến bây giờ, phải mất 30 phút để chạy không tải, vì vậy thời gian chạy không tải trở thành con số không.