No.1 Làm sạch tấm silicon 300mm sau khi làm sạch chính xác

《　Vấn đề　》

Không có lò sưởi tốt nào có thể nhanh chóng làm bay hơi những giọt nước trên tấm wafer silicon.

《　⇒Điểm Kaizen 》

Nó được làm khô bằng cách chiếu tia hồng ngoại xa bằng máy sưởi tuyến carbon CFLH.
Vì các bước sóng hấp thụ trùng nhau nên các giọt nước bay hơi nhanh chóng.
Thời gian Takt đã được rút ngắn.