66. Nguồn nhiệt cho hệ thống đo lường wafer silicon

《　Vấn đề　》

Tôi gặp rắc rối vì không có cách nào tốt để dễ dàng làm nóng các tấm silicon.

《　⇒Điểm Kaizen 》
Một máy sưởi không khí nóng được sử dụng để bơm khí nitơ ở nhiệt độ cao và nhiệt độ bề mặt trên cùng được điều chỉnh thành 40°C.
Bây giờ có thể đo các tấm wafer mà không cần sử dụng chân không.