《 Vấn đề 》
Quá trình ủ nhiệt của tấm bán dẫn SiC yêu cầu gia nhiệt đồng đều ở nhiệt độ cao, nhưng việc cải thiện hiệu suất vẫn là một thách thức.
《 ⇒Điểm Kaizen 》
Bằng cách sử dụng Máy sưởi tuyến carbon, hiệu suất gia nhiệt đã được cải thiện.
Hiệu suất tăng lên, và thiết kế nhỏ gọn giúp tiết kiệm không gian.
Ngoài ra, hiệu suất năng lượng trong quá trình nhiệt độ cao cũng đã được tối ưu hóa hơn nữa.